Многослойные тонкопленочные структуры на основе функциональных оксидов с двумя независимыми механизмами перестройки электрических параметров
2.2.3 Технология и оборудование для производства материалов и приборов электронной техники | 2027
Модификация поверхности диэлектрических материалов под воздействием потоков заряженных и нейтральных частиц
2.2. Электроника, фотоника, приборостроение и связь
2.2.1. Вакуумная и плазменная электроника | 2029
