Персональная страница сотрудника

Кафедра электронных приборов и устройств

Профессор

Кафедра электронных приборов и устройств

Главный научный сотрудник

Ученая степень/звание

Доктор технических наук, профессор, старший научный сотрудник

Контакты

vishapovalov@etu.ru

РИДы

Магнетрон для осаждения пленок высокоэнтропийного сплава W-V-Nb-Mo-Ta
2025120671 | 2026-03-06

Распыляемый узел магнетрона для осаждения пленок среднеэнтропийного четырехкомпонентного сплава V-Nb-Mo-Ta
2024133720 | 2025-06-06

Мишень магнетрона для осаждения пленки бинарного сплава Ta_xTi_1-x
2024110843 | 2025-02-07

Распыляемый узел магнетрона для осаждения композиционных многокомпонентных пленок Ni0.6Co0.3Fe0.1
2808293 | 2023-11-28

Распыляемый узел магнетрона для осаждения композиционных многокомпонентных пленок Ni_0.60Co_0.3Fe_0.1
2023120096 | 2023-11-28

Способ получения пленки нитрида пермаллоя Fe_xNi_1-xN
2022109242 | 2022-11-24

Способ получения пленки нитрида пермаллоя FexNi1–xN
2784453 | 2022-11-24

Распыляемый узел магнетрона для осаждения пленки бинарного сплава Fe_xNi_1-x в диапазоне 0,23 < x < 0,27
2021123806 | 2021-11-01

Распыляемый блок магнетрона для осаждения композиционных пленок Ti_xMo_yCr_1-x-yN
2021102132 | 2021-06-09

Распыляемый блок магнетрона для осаждения твердых композиционных пленок
2019140289 | 2020-12-23

Распыляемый блок магнетрона для осаждения пленок твердых растворов Ti_xW_1-xO₃
2019103454 | 2019-09-09

Распылительный блок магнетрона для осаждения пленок твердых растворов Fe_xTi_(1-x)O₂ в диапазоне 0<x<0,6
2017130488 | 2018-08-14
Перечень возможных тем для диссертационных исследований

Исследование магнетронного распыления многослойной мишени
2.2. Электроника, фотоника, приборостроение и связь 2.2.1. Вакуумная и плазменная электроника | 2029

Шаповалов Виктор Иванович

Исследование магнетронного распыления многослойной мишени