Исследование физико-химических закономерностей формирования оптических сенсибилизирующих и просветляющих покрытий полученных магнетронным напылением
2.2. Электроника, фотоника, приборостроение и связь
2.2.3. Технология и оборудование для производства материалов и приборов электронной техники | 2029
