Преподавателями кафедры написаны учебники и учебные пособия по общенаучным и специальным дисциплинам, по которым ведется подготовка специалистов во многих вузах страны.
Многие учебники переведены на иностранные языки. Так, учебник «Электротехнические материалы (авторы Н.П. Богородицкий, В.В. Пасынков, Б.М. Тареев) выдержал 7 отечественных и 9 зарубежных изданий, «Материалы электронной техники» (авторы Н.П. Богородицкий, В.В. Пасынков) – 3 отечественных и 1 зарубежное издания, «Введение в физическую химию и кристаллохимию полупроводников» (автор Б.Ф. Ормонт) – 2 отечественных и 1 зарубежное, «Полупроводниковые приборы» (авторы В.В. Пасынков, Л.К. Чиркин, А.Д. Шинков) – 7 изданий, «Справочник по электротехническим материалам» в трех томах (соавторами которого являются преподаватели кафедры) – 3 издания. По спецкурсам изданы следующие учебники: «Технология полупроводниковых и диэлектрических материалов» (авторы Ю.М. Таиров и В.Ф. Цветков) – 3 издания, «Технология полупроводниковых приборов» (авторы И.Г. Пичугин и Ю.М. Таиров), «Оптическая и квантовая электроника» (автор А.Н. Пихтин) – 2 издания, «Магнитные материалы и элементы» (автор А.А. Преображенский).
Издательство «Академия» выпустило новый двухтомный учебник «Материалы и элементы электронной техники» (авторы В.С. Сорокин, Н.П. Лазарева, Б.Л. Антипов), издательство «Физматлит» опубликовало монографию «Нанотехнология. Физика, процессы, диагностика, приборы» (под редакцией профессоров В.В. Лучинина, Ю.М. Таирова). Ее авторами являются десять профессоров кафедры, а также научные сотрудники, докторанты и аспиранты кафедры и Центра микротехнологии и диагностики и др.
