Основатель кафедры – профессор Богородицкий Николай Петрович, трижды лауреат Государственных (Сталинских) премий, заслуженный деятель науки и техники РФ, ректор ЛЭТИ, заведующий кафедрой с 1946 по 1967 гг.
Кафедра микро – и наноэлектроники основана в 1946 г. как кафедра электротехнических материалов по инициативе заслуженного деятеля науки и техники РФ, профессора Н.П. Богородицкого – выдающегося ученого, организатора высшего образования в области твердотельной электроники в СССР. В 1951 г. кафедра была преобразована в кафедру диэлектриков и полупроводников (ДП). С 1995 г. – кафедра микроэлектроники (МЭ). С 2011 г. – кафедра микро- и наноэлектроники (МНЭ).
На кафедре работает более пятидесяти высококвалифицированных преподавателей и научных сотрудников, обучается около пятисот студентов. За 75 лет существования кафедра подготовила свыше 5 тысяч специалистов, из которых более 500 защитили докторские и кандидатские диссертации.
Образование базируется на глубокой естественно- научной подготовке, в сочетании с процессами дизайна и синтеза новых материалов и систем неорганической и органической природы, с целью формирования знаний и умений для решения практико-ориентированных инженерных задач создания интеллектуальной микро- и нанотехники нового поколения для авиационно-космического, ядерно-энергетического, биомедицинского комплексов и инфокоммуникационной экосистемы Российской Федерации.
